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光刻机用LPP光源相关专利,我们长光所搞的是第一代,已经出了工程样机,上光所搞的
来源:
电竞网
2023-05-09 20:41:05
电竞资讯
光刻机用LPP光源相关专利,我们长光所搞的是第一代,已经出了工程样机,上光所搞的是第二代。不要以为这些突破是放卫星,突然冒出来的。这些技术路线我们一直在做,长的有十几二十年的积累了。
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